Picarro宣布用於半導體晶圓廠的氣體分子污染監測系統

高通量系統以萬億分之一的水平在線檢測關鍵的AMC

加利福尼亞州聖克拉拉市2020年3月25日/美通社/--Picarro宣布推出經我們完全優化的AMC監控系統——PicarroSAM(取樣Sample、分析Analyze和監測Monitor)。該系統由Picarro在業界領先的基於CRDS的傳感器組成,該傳感器已集成到最新的採樣系統中。SAM單元可提供高通量採樣,而不會影響傳感器的性能。

PicarroAMCMonitoringSystem

新的PicarroSAM系

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